SierraMFC/MFM

디지털 / 특수 MFC

모델

  • MicroTrak 101 초 저 유량
  • SmartTrak 140 초 저 델타 P
  • SmartTrak 100-HP 초 고압
  • MaxTrak 180 산업용 NEMA 6 (IP67)

기술

  • 까다로운 어플리케이션을 위해 설계된 디지털 MFC
  • 0.1 sccm (smlm)까지의 초 저 유량
  • 초 저 압력 강하 ΔP 4.5 psid (310 mBard)
  • NEMA 6 및 IP67 인증 등급
  • 5000 psig (345 barg)까지의 높은 압력
  • 누출 무결성 5 x 10-9 smL / sec의 헬륨
  • 무료 소프트웨어
  • CE 승인

측정 유체

  • 독성 및 부식을 포함한 모든 청결한 가스

정확성

  • 전체 스케일의 +/- 1.0 %

반복성

  • 전체 스케일의 +/- 0.2 %

유량 범위

(턴다운 – 미터 100: 1 / 컨트롤러 50: 1)

  • 최대 1000 slpm (nlpm)의 질량 유속; 요구 수준보다 높음.
  • 4 sccm (smlm) 이하의 낮은 유량 범위, 0.1 sccm (smlm)의 최소 제어 질량 유량,

디지털 통신

(버전에 따라 다를 수 있음)

• Foundation Fieldbus, Modbus RTU 및 Profibus DP