SierraMFC/MFM

제어 밸브 / SmartVO

모델

  • VO-100L 저 유량
  • VO-100M 중간 유량
  • VO-100H 고 유량
  • VO-100HP 고압
  • VO-101 초 저 유량

기술

  • 즉각 응답 제어 밸브
  • 직접 마찰 없는 호버링 다이렉트 액션 컨트롤 밸브
  • 넓은 DP 압력 범위에서 작동
  • 다양한 피팅 및 엘라스토머 선택 가능
  • 포지티브 차단 기능이 있는 밸브
  • 알루미늄 및 316L 스테인레스 스틸 구조
  • 단면형 10-30 VDC 입력 전원으로 설치 비용 절감 및 설치 용이성 제고
  • 누출 방지 5 x 109 smL / sec의 헬륨
  • CE 승인

측정 유체

  • 부식 및 독성을 포함한 모든 클린 가스

제어 범위

  • 0 ~ 100 %, 유량 범위에 대한 독립 시그널 컨트롤 제어
  • 0 ~ 10 sccm에서 0 ~ 1000 slpm
  • 0.1 sccm (smlm)까지의 초자유량
  • 5000 psig (345 barg)까지의 높은 압력