SierraMFC/MFM

DIGITAL / SmartTrak 100

모델

  • 100L 저 유량
  • 100M 중간 유량
  • 100H 고 유량

기술

  • 최고 성능의 멀티 가스 MFC
  • 플래그십 질량 유량계 및 컨트롤러
  • 대형 다기능 디스플레이 인터페이스로 탐색 용이
  • 무료 사용자 소프트웨어
  • 1 차 표준 교정 및 NIST 추적 성능 탁월
  • 현장 교정
  • 최대 10 개의 가스 구성
  • 독점 마찰 없는 호버링, 직접 작동 제어 / 차단 밸브
  • 사용자 친화적 인 파일럿 모듈 디스플레이 인터페이스가 전면 장착, 휴대용 또는 원격 장착
  • 누출 무결성 5 x 10-9 smL / sec의 헬륨
  • CE 승인

측정 유체

  • 독성 및 부식을 포함한 모든 클린 가스
  • Dial-A-Gas를 사용 시, 하나의 장치로 10 개의 가스를 변경 가능

정확성

  • 전체 스케일의 +/- 1.0 % • 전체 스케일의 +/- 0.5 % 사용 가능

반복성

  • 전체 스케일의 +/- 0.2 %

디지털 통신

  • Foundation Fieldbus, Modbus RTU 및 Profibus DP

유량 범위 (턴 다운 – 미터 100: 1 / 컨트롤러 50: 1)

100L 저 유량

  • 0에서 10 sccm (smlm)에서 0에서 50 slpm (nlpm)

100M 중간 유량

  • 0 ~ 300 slpm (nlpm)

100H 고 유량

  • 0 ~ 1000 slpm (nlpm) 요청 시 더 높은 유량 및 낮은 유량 제공 가능