모델
- 840L 저 유량
- 840M 중 유량
- 840H 고 유량
설명
- 30 년 이상 사용되어 온 신뢰할 수 있는 아날로그 질량 유량 제어
- 오염 가스를 위한 깨끗한 센서 튜브
- 낮은 압력 강하로 정밀 제어
- 견고한 구조로 내구성 입증
- 광범위한 인클로저, 프로세스 연결, 입력 / 출력 옵션 및 제어 전자 제품에서 사용 가능
- 누출 방지 1 x 109 smL / sec의 헬륨
- CE 승인
유체 측정
- 독성, 부식성 및 가연성을 포함한 모든 클린 가스 측정
정확도
- 풀 스케일의 +/- 1.0 %
반복성
- 풀 스케일의 +/- 0.5 %
유량 범위 (50: 1 턴 다운)
840L 저 유량
- 0 ~ 15 slpm (nlpm) 840M
중간 유량
- 0 ~ 100 slpm (nlpm)
840H 고 유량
- 0 ~ 500 slpm (nlpm)