SierraMFC/MFM

ECONOMICAL MFC / SideTrak

모델

  • 840L 저 유량
  • 840M 중 유량
  • 840H 고 유량

설명

  • 30 년 이상 사용되어 온 신뢰할 수 있는 아날로그 질량 유량 제어
  • 오염 가스를 위한 깨끗한 센서 튜브
  • 낮은 압력 강하로 정밀 제어
  • 견고한 구조로 내구성 입증
  • 광범위한 인클로저, 프로세스 연결, 입력 / 출력 옵션 및 제어 전자 제품에서 사용 가능
  • 누출 방지 1 x 109 smL / sec의 헬륨
  • CE 승인

유체 측정

  • 독성, 부식성 및 가연성을 포함한 모든 클린 가스 측정

정확도

  • 풀 스케일의 +/- 1.0 %

반복성

  • 풀 스케일의 +/- 0.5 %

유량 범위 (50: 1 턴 다운)

840L 저 유량

  • 0 ~ 15 slpm (nlpm) 840M

중간 유량

  • 0 ~ 100 slpm (nlpm)

840H 고 유량

  • 0 ~ 500 slpm (nlpm)