MFM / MFC

제어 밸브 / SmartVO

모델

  • VO-100L 저 유량
  • VO-100M 중간 유량
  • VO-100H 고 유량
  • VO-100HP 고압
  • VO-101 초 저 유량

기술

  • 즉각 응답 제어 밸브
  • 직접 마찰 없는 호버링 다이렉트 액션 컨트롤 밸브
  • 넓은 DP 압력 범위에서 작동
  • 다양한 피팅 및 엘라스토머 선택 가능
  • 포지티브 차단 기능이 있는 밸브
  • 알루미늄 및 316L 스테인레스 스틸 구조
  • 단면형 10-30 VDC 입력 전원으로 설치 비용 절감 및 설치 용이성 제고
  • 누출 방지 5 x 109 smL / sec의 헬륨
  • CE 승인

측정 유체

  • 부식 및 독성을 포함한 모든 클린 가스

제어 범위

  • 0 ~ 100 %, 유량 범위에 대한 독립 시그널 컨트롤 제어
  • 0 ~ 10 sccm에서 0 ~ 1000 slpm
  • 0.1 sccm (smlm)까지의 초자유량
  • 5000 psig (345 barg)까지의 높은 압력

디지털 / 특수 MFC

모델

  • MicroTrak 101 초 저 유량
  • SmartTrak 140 초 저 델타 P
  • SmartTrak 100-HP 초 고압
  • MaxTrak 180 산업용 NEMA 6 (IP67)

기술

  • 까다로운 어플리케이션을 위해 설계된 디지털 MFC
  • 0.1 sccm (smlm)까지의 초 저 유량
  • 초 저 압력 강하 ΔP 4.5 psid (310 mBard)
  • NEMA 6 및 IP67 인증 등급
  • 5000 psig (345 barg)까지의 높은 압력
  • 누출 무결성 5 x 10-9 smL / sec의 헬륨
  • 무료 소프트웨어
  • CE 승인

측정 유체

  • 독성 및 부식을 포함한 모든 청결한 가스

정확성

  • 전체 스케일의 +/- 1.0 %

반복성

  • 전체 스케일의 +/- 0.2 %

유량 범위

(턴다운 – 미터 100: 1 / 컨트롤러 50: 1)

  • 최대 1000 slpm (nlpm)의 질량 유속; 요구 수준보다 높음.
  • 4 sccm (smlm) 이하의 낮은 유량 범위, 0.1 sccm (smlm)의 최소 제어 질량 유량,

디지털 통신

(버전에 따라 다를 수 있음)

• Foundation Fieldbus, Modbus RTU 및 Profibus DP

DIGITAL / SmartTrak 50

모델

  • 50L 저 유량
  • 50M 중간 유량

기술

  • 경제적인 디지털 질량 유량계 및 제어 장치
  • OEM 가격으로 강력한 디지털 고성능
  • 대량 할인으로 비용 절감
  • 대형 디스플레이로 쉽게 탐색
  • 무료 소프트웨어
  • 알루미늄 또는 316 스테인레스 스틸 구조 선택 가능
  • 컴팩트한 크기로 교체가 용이
  • 로컬 디스플레이 및 디지털 설정 값
  • 선택적 아날로그 기준값 / 출력 신호 셋팅
  • 필드 조정 가능 제로 및 스팬
  • 1 차 표준 교정 및 NIST 추적 성능
  • 누출 방지 1 x 109 smL / sec의 헬륨
  • CE 승인

측정 유체

  • 독성 및 부식을 포함한 모든 클린 가스

정확성

  • 전체 스케일의 +/- 1.0 %

반복성

  • 전체 스케일의 +/- 0.25 %

디지털 통신

  • RS-232, RS-485 (멀티 드롭)

유량 범위

(턴다운 – 미터 100: 1 / 컨트롤러 50: 1)

50L 저 유량

  • 0에서 10 sccm (smlm)에서 0에서 50 slpm (nlpm)

50M 중간 유량

  • 0 ~ 200 slpm (nlpm) 요청 시 더 높은 유량 제공

DIGITAL / SmartTrak 100

모델

  • 100L 저 유량
  • 100M 중간 유량
  • 100H 고 유량

기술

  • 최고 성능의 멀티 가스 MFC
  • 플래그십 질량 유량계 및 컨트롤러
  • 대형 다기능 디스플레이 인터페이스로 탐색 용이
  • 무료 사용자 소프트웨어
  • 1 차 표준 교정 및 NIST 추적 성능 탁월
  • 현장 교정
  • 최대 10 개의 가스 구성
  • 독점 마찰 없는 호버링, 직접 작동 제어 / 차단 밸브
  • 사용자 친화적 인 파일럿 모듈 디스플레이 인터페이스가 전면 장착, 휴대용 또는 원격 장착
  • 누출 무결성 5 x 10-9 smL / sec의 헬륨
  • CE 승인

측정 유체

  • 독성 및 부식을 포함한 모든 클린 가스
  • Dial-A-Gas를 사용 시, 하나의 장치로 10 개의 가스를 변경 가능

정확성

  • 전체 스케일의 +/- 1.0 % • 전체 스케일의 +/- 0.5 % 사용 가능

반복성

  • 전체 스케일의 +/- 0.2 %

디지털 통신

  • Foundation Fieldbus, Modbus RTU 및 Profibus DP

유량 범위 (턴 다운 – 미터 100: 1 / 컨트롤러 50: 1)

100L 저 유량

  • 0에서 10 sccm (smlm)에서 0에서 50 slpm (nlpm)

100M 중간 유량

  • 0 ~ 300 slpm (nlpm)

100H 고 유량

  • 0 ~ 1000 slpm (nlpm) 요청 시 더 높은 유량 및 낮은 유량 제공 가능

경제적인 MFC / Top Trak

모델

  • 820 나일론
  • 820S 스테인레스 스틸
  • 826 알루미늄

기술

  • 저렴한 OEM 가격으로 성능 입증된 유량 측정
  • 나일론, 알루미늄 또는 스테인리스 스틸 구조 선택 가능
  • 생산성 향상으로 제품 단가 구매 비용 절감
  • 대형, 틸트 가능 디스플레이 판독 값
  • 교체 용이성 • 낮은 압력 강하로 정밀한 측정 • CE 승인

측정 유체

  • 모든 클린 가스 유체; 젖은 재료도 측정 가능

정확성

  • 전체 스케일의 +/- 1.5 %

반복성

  • 전체 스케일의 +/- 0.5 %

유량 범위 (100: 1 턴 다운)

820 나일론

  • 0 ~ 50 slpm (nlpm)

820S 스테인레스 스틸

  • 0 ~ 500 slpm (nlpm)

820S 알루미늄

  • 0 ~ 175 slpm (nlpm)

필요에 따라 더 높은 수준의 유체 측정 가능

ECONOMICAL MFC / SideTrak

모델

  • 840L 저 유량
  • 840M 중 유량
  • 840H 고 유량

설명

  • 30 년 이상 사용되어 온 신뢰할 수 있는 아날로그 질량 유량 제어
  • 오염 가스를 위한 깨끗한 센서 튜브
  • 낮은 압력 강하로 정밀 제어
  • 견고한 구조로 내구성 입증
  • 광범위한 인클로저, 프로세스 연결, 입력 / 출력 옵션 및 제어 전자 제품에서 사용 가능
  • 누출 방지 1 x 109 smL / sec의 헬륨
  • CE 승인

유체 측정

  • 독성, 부식성 및 가연성을 포함한 모든 클린 가스 측정

정확도

  • 풀 스케일의 +/- 1.0 %

반복성

  • 풀 스케일의 +/- 0.5 %

유량 범위 (50: 1 턴 다운)

840L 저 유량

  • 0 ~ 15 slpm (nlpm) 840M

중간 유량

  • 0 ~ 100 slpm (nlpm)

840H 고 유량

  • 0 ~ 500 slpm (nlpm)

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