MFM / MFC
제어 밸브 / SmartVO
모델
- VO-100L 저 유량
- VO-100M 중간 유량
- VO-100H 고 유량
- VO-100HP 고압
- VO-101 초 저 유량
기술
- 즉각 응답 제어 밸브
- 직접 마찰 없는 호버링 다이렉트 액션 컨트롤 밸브
- 넓은 DP 압력 범위에서 작동
- 다양한 피팅 및 엘라스토머 선택 가능
- 포지티브 차단 기능이 있는 밸브
- 알루미늄 및 316L 스테인레스 스틸 구조
- 단면형 10-30 VDC 입력 전원으로 설치 비용 절감 및 설치 용이성 제고
- 누출 방지 5 x 109 smL / sec의 헬륨
- CE 승인
측정 유체
- 부식 및 독성을 포함한 모든 클린 가스
제어 범위
- 0 ~ 100 %, 유량 범위에 대한 독립 시그널 컨트롤 제어
- 0 ~ 10 sccm에서 0 ~ 1000 slpm
- 0.1 sccm (smlm)까지의 초자유량
- 5000 psig (345 barg)까지의 높은 압력
디지털 / 특수 MFC
모델
- MicroTrak 101 초 저 유량
- SmartTrak 140 초 저 델타 P
- SmartTrak 100-HP 초 고압
- MaxTrak 180 산업용 NEMA 6 (IP67)
기술
- 까다로운 어플리케이션을 위해 설계된 디지털 MFC
- 0.1 sccm (smlm)까지의 초 저 유량
- 초 저 압력 강하 ΔP 4.5 psid (310 mBard)
- NEMA 6 및 IP67 인증 등급
- 5000 psig (345 barg)까지의 높은 압력
- 누출 무결성 5 x 10-9 smL / sec의 헬륨
- 무료 소프트웨어
- CE 승인
측정 유체
- 독성 및 부식을 포함한 모든 청결한 가스
정확성
- 전체 스케일의 +/- 1.0 %
반복성
- 전체 스케일의 +/- 0.2 %
유량 범위
(턴다운 – 미터 100: 1 / 컨트롤러 50: 1)
- 최대 1000 slpm (nlpm)의 질량 유속; 요구 수준보다 높음.
- 4 sccm (smlm) 이하의 낮은 유량 범위, 0.1 sccm (smlm)의 최소 제어 질량 유량,
디지털 통신
(버전에 따라 다를 수 있음)
• Foundation Fieldbus, Modbus RTU 및 Profibus DP
DIGITAL / SmartTrak 50
모델
- 50L 저 유량
- 50M 중간 유량
기술
- 경제적인 디지털 질량 유량계 및 제어 장치
- OEM 가격으로 강력한 디지털 고성능
- 대량 할인으로 비용 절감
- 대형 디스플레이로 쉽게 탐색
- 무료 소프트웨어
- 알루미늄 또는 316 스테인레스 스틸 구조 선택 가능
- 컴팩트한 크기로 교체가 용이
- 로컬 디스플레이 및 디지털 설정 값
- 선택적 아날로그 기준값 / 출력 신호 셋팅
- 필드 조정 가능 제로 및 스팬
- 1 차 표준 교정 및 NIST 추적 성능
- 누출 방지 1 x 109 smL / sec의 헬륨
- CE 승인
측정 유체
- 독성 및 부식을 포함한 모든 클린 가스
정확성
- 전체 스케일의 +/- 1.0 %
반복성
- 전체 스케일의 +/- 0.25 %
디지털 통신
- RS-232, RS-485 (멀티 드롭)
유량 범위
(턴다운 – 미터 100: 1 / 컨트롤러 50: 1)
50L 저 유량
- 0에서 10 sccm (smlm)에서 0에서 50 slpm (nlpm)
50M 중간 유량
- 0 ~ 200 slpm (nlpm) 요청 시 더 높은 유량 제공
DIGITAL / SmartTrak 100
모델
- 100L 저 유량
- 100M 중간 유량
- 100H 고 유량
기술
- 최고 성능의 멀티 가스 MFC
- 플래그십 질량 유량계 및 컨트롤러
- 대형 다기능 디스플레이 인터페이스로 탐색 용이
- 무료 사용자 소프트웨어
- 1 차 표준 교정 및 NIST 추적 성능 탁월
- 현장 교정
- 최대 10 개의 가스 구성
- 독점 마찰 없는 호버링, 직접 작동 제어 / 차단 밸브
- 사용자 친화적 인 파일럿 모듈 디스플레이 인터페이스가 전면 장착, 휴대용 또는 원격 장착
- 누출 무결성 5 x 10-9 smL / sec의 헬륨
- CE 승인
측정 유체
- 독성 및 부식을 포함한 모든 클린 가스
- Dial-A-Gas를 사용 시, 하나의 장치로 10 개의 가스를 변경 가능
정확성
- 전체 스케일의 +/- 1.0 % • 전체 스케일의 +/- 0.5 % 사용 가능
반복성
- 전체 스케일의 +/- 0.2 %
디지털 통신
- Foundation Fieldbus, Modbus RTU 및 Profibus DP
유량 범위 (턴 다운 – 미터 100: 1 / 컨트롤러 50: 1)
100L 저 유량
- 0에서 10 sccm (smlm)에서 0에서 50 slpm (nlpm)
100M 중간 유량
- 0 ~ 300 slpm (nlpm)
100H 고 유량
- 0 ~ 1000 slpm (nlpm) 요청 시 더 높은 유량 및 낮은 유량 제공 가능
경제적인 MFC / Top Trak
모델
- 820 나일론
- 820S 스테인레스 스틸
- 826 알루미늄
기술
- 저렴한 OEM 가격으로 성능 입증된 유량 측정
- 나일론, 알루미늄 또는 스테인리스 스틸 구조 선택 가능
- 생산성 향상으로 제품 단가 구매 비용 절감
- 대형, 틸트 가능 디스플레이 판독 값
- 교체 용이성 • 낮은 압력 강하로 정밀한 측정 • CE 승인
측정 유체
- 모든 클린 가스 유체; 젖은 재료도 측정 가능
정확성
- 전체 스케일의 +/- 1.5 %
반복성
- 전체 스케일의 +/- 0.5 %
유량 범위 (100: 1 턴 다운)
820 나일론
- 0 ~ 50 slpm (nlpm)
820S 스테인레스 스틸
- 0 ~ 500 slpm (nlpm)
820S 알루미늄
- 0 ~ 175 slpm (nlpm)
필요에 따라 더 높은 수준의 유체 측정 가능
ECONOMICAL MFC / SideTrak
모델
- 840L 저 유량
- 840M 중 유량
- 840H 고 유량
설명
- 30 년 이상 사용되어 온 신뢰할 수 있는 아날로그 질량 유량 제어
- 오염 가스를 위한 깨끗한 센서 튜브
- 낮은 압력 강하로 정밀 제어
- 견고한 구조로 내구성 입증
- 광범위한 인클로저, 프로세스 연결, 입력 / 출력 옵션 및 제어 전자 제품에서 사용 가능
- 누출 방지 1 x 109 smL / sec의 헬륨
- CE 승인
유체 측정
- 독성, 부식성 및 가연성을 포함한 모든 클린 가스 측정
정확도
- 풀 스케일의 +/- 1.0 %
반복성
- 풀 스케일의 +/- 0.5 %
유량 범위 (50: 1 턴 다운)
840L 저 유량
- 0 ~ 15 slpm (nlpm) 840M
중간 유량
- 0 ~ 100 slpm (nlpm)
840H 고 유량
- 0 ~ 500 slpm (nlpm)
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